1Charakterystyka techniczna

lWysokowymiarowy mikroskop dwupolowy i22Wyświetlacz LCD z szerokim ekranem monitoruje proces wyrównywania jednocześnie i zapewniaUSBeksportu; Wysoko precyzyjne dostosowanie, wykrywanie wyników ekspozycji oraz wygodne przechowywanie

lZastosowanie oświetlenia odwróconego, wygodniejsza wymiana lamp rtęciowych, lepsze chłodzenie ciepła i odporność na wycieki

lPraca dwuosobowa w poziomie wyrównania i poziomie ekspozycji, automatyczne przełączanie dwuosobowe

lUżywanie komputera wbudowanego+Obsługa ekranu dotykowego, łatwiejsza obsługa i bardziej stylowa

lRozkład i wersja są bardzo wygodne, wysoki poziom zautomatyzacji, łatwa obsługa. Badania naukowe na uczelniach wyższych (dobra niezawodność, wygodna prezentacja) i fabryki(Wysoka wydajność)Szczególnie odpowiednie

2Parametry techniczne

lObszar ekspozycji:100mm×100mm(można uaktualnić do6cala)

lDługość fali ekspozycji:365nm

lRozdzielczość:≤1mm(grubość1.5 mmKlej)

lDokładność wyrównania:±0.6mm

lZakres ruchu mikroskopu:X：10mm;Y:10mm

lRozmiar maski:2.5cala,3cala,4cala,5cala

lRozmiar próbki: średnicaf15mm--f100mm(Różne nieregularne filmy)

Grubość0.1mm--6mm

lSposób ekspozycji: czas (sposób odliczania odwrotnego) i ustalona dawka

lEkspozycja do kontaktu próżniowego, ekspozycja do twardego kontaktuŚwiatłoCztery funkcje ekspozycji pod ciśnieniem oraz ekspozycji zbliżonej

lNierównoważność oświetlenia: 3%（f100mmZakres)

lMikroskop wyrównawczy z dwoma oczami: zarówno za pośrednictwem okularówWizualnyDostosowanie, można również przejśćCCD+Wywyrównanie wyświetlacza, zdjęcie optyczne, maksymalny wielokrotnik optyczny400wielokrotnie, optycznie+Elektroniczne powiększenie800razy

Trzy pary obiektów:4razy,10razy,20razy

Trzy pary okularów:10razy,16razy,20razy

lRegulacja ciśnienia kontaktowego zapewnia powtarzanie przez czujnik

lUstawienie cyfrowe wyrównania szczeliny i szczeliny

lInterfejs modułu druku oraz interfejs bliski modułu

lMaska w stosunku do przebiegu ruchu próbki:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaksymalna grubość:400mm（SU8Klej, warunki testowe dostarczane przez użytkownika)

lRównoległość źródła światła:3?

lGęstość energii ekspozycji:>25mW/cm2,Temperatura powierzchni oświetlenia<35?C

lJednowarstwowa ekspozycja jednym kliknięciem

lZastosowanie kuly pływającej+Trzy pazury

lMoc lampy rtęciowej:350W(prąd stały,Import）

3Wymiary:1400mm(Długie)?900mm(Szerokość)?1500mm(wysoki)

4Konfiguracja

（1(ekspozycja głowy)

lElipskop zimnego światła

l350WImport wysokociśnieniowych lamp rtęciowych(Osram Niemcy)

lXYZRegulator lamp rtęciowych

lWentylator chłodzący

lSystem optyczny: pasma światła stała, pasma światła zmienna, migawka, lustro prostoprzeczne1Lustro proste2Grupa soczewek (79soczewki),iFiltry liniowe, lustra polne, lustra chłodnego światła1lustro refleksyjne2

（2(Ustawienie stołu roboczego)

lPodstawa do gravury

lStacja przełączająca (cylinder)

lMaska Demonstracja Całkowity Sportowy Stoł

lMaska próba stosunkowy ruch stoł

lStoł obrotowy

lAgencja wyrównywania próbek,3 Automatyczne zakończenie

lMechanizm regulacji modelu, automatyczne regulowanie silnika

lMechanizm wyciągania podłoża

lPodstawa4Jeden:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(można zmniejszyć na żądanie użytkownika)

lMaska4Jeden:2.5cala,3cala,4cala,5Calce (można zwiększyć lub zmniejszyć na żądanie użytkownika)

lMechanizm wyciągania próbek w górę i w dół

（3(Ustawienie mikroskopu)

lźródło światła, Zasilanie

lDwuoczne wyrównanie mikroskopu podwójnego pola widzenia

lOkulary3Tak.10razy,16razy,20razy, łącznie6jeden)

lObiekt3Tak.4razy,10razy,20razy, łącznie6jeden)

lCCDsystem dostosowania,22Calowy wyświetlacz LCD

（4System kontroli elektronicznej

lLampa rtęciowa wyzwala zasilanie(350WLampy rtęciowe prądu stałego)

lSystem sterowania pojedynczym

lPanel sterowania

lStół kontrolny

（5(System pneumatyczny)

lCylindry, zawory magnetyczne, zawory zmniejszające ciśnienie, przełączniki pneumatyczne itp.

lNapęd zaworu elektromagnetycznego

lPrzyrządy pneumatyczne

（6Inne załączniki

lPompa próżniowa 1

l1 sprężarka powietrza

lRury interfejsowe

（7Informacje techniczne

lInstrukcja obsługi

lCertyfikat kontroli produktu