EBSD， Pełna nazwa dyfrakcji rozproszenia elektronicznego, główną cechą jest zachowanie zwykłych cech mikroskopu elektronicznego skanowania przy jednoczesnym przeprowadzaniu dyfrakcji o rozdzielczości przestrzennej na skali submikronowej, dając dane krystalologiczne.

Przykład 1

Wyniki EBSD z próbek węgliku wolframu / kobaltu w warunkach 20kV

Test SEM-EBSD kulek spawalnych na płytach PCB

Obserwacja w miejscu zmiany fazy γ → α w stali niskowęglowej

Dane o naprężeniu na stopie Al EBSD in situ

Przykład 2 Za pomocą technologii TKD koosiowej przetestowano strukturę nanowarstwy miedzi nanokrystalicznej i zidentyfikowano strukturę warstwy bliźniaka w skali 2nm

Wykres PQ struktury bliźniaczej miedzi nanokryształowej z wyświetlaniem nakładu IPFX oraz rozkład kątowy w segmentie linii średniej