• Wysoka dokładność ± 1,0% Punkt ustawienia
  Liniowość tego kontrolera przepływu masy jest kompensowana krzywą wielopoziomową przybliżenia i zapewnia wysoką dokładność w zakresie kontroli przepływu. Aby poprawić rzeczywistą dokładność gazu, dane kalibracyjne różnych gazów procesowych są mierzone za pomocą standardowego systemu pomiaru gazu firmy HORIBA STEC.
• Wysoka szybkość reakcji
  System zmiennego PID umożliwia 1 sekundę odpowiedzi pomiędzy dowolnym z dwóch punktów ustawienia. Zmienny PID zmienia się w zależności od ustawień punktu przepływu. Optymalizacja współczynnika PID w przypadku zmian przepływu i gazu w pełnym zakresie.
• Rozwiązania wielogazowe/wielomiarowe
  Oprogramowanie konfiguracyjne umożliwia szybką i łatwą zmianę specyfikacji. Ważną cechą jest możliwość zmiany bez demontażu kontrolera przepływu masy z panelu sterowania gazem lub rurociągu. Zmniejsza ilość potrzebnych zapasowych kontrolerów przepływu masy, co pozwala zaoszczędzić czas i koszty.

Kontroler przepływu masy SEC-Z500X nadaje się do różnych zastosowań i produkcji półprzewodników.