Urządzenia do obróbki powierzchni plazmowej niskotemperaturowej składają się z komory próżniowej i wysokiej częstotliwości zasilania plazmowego, systemu pompowania próżniowego, systemu dmuchania, systemu automatycznego sterowania itp. Być. Podstawowa zasada pracy polega na tym, że w stanie próżni działanie plazmy umożliwia jonizację gazu w metodach kontrolnych i jakościowych.Wykorzystując pompę próżniową, studio pompuje próżnię do poziomu próżni 30-40pa, a następnie pod wpływem generatora wysokiej częstotliwości gazy są jonizowane, tworząc plazmę (czwarty stan substancji), której wyraźną cechą jest wysoka jednorodność rozładunku świetlnego, w zależności od różnych gazów emitujących światło widoczne od niebieskiego do ciemnofioletowego, temperatura przetwarzania materiału jest bliska temperatury pokojowej. Te bardzo aktywne cząsteczki mikroskopowe i obróbka powierzchni działają, uzyskując hydrofilność powierzchni, odporność na wodę, niskie tarcie, wysoką czystość, aktywację, trawienie i inne różne modyfikacje powierzchniowe.

Parametry techniczne

1,Wymiary urządzenia: 450mm*400mm*240mm

2,Rozmiar magazynu próżniowego: Φ151×300(L)mm （5L）

3,Struktura magazynu: Przedmiot ze stali nierdzewnej, wbudowana elektroda sprzężona pojemnością, wolna od zanieczyszczeń, wbudowana taca kwarcowa.

4,Generator plazmowyCzęstotliwość radiowa, regulacja mocy 0-300W, ochrona pełnego obwodu, ciągła długa praca (chłodzenie powietrzem).

5,System sterowania: PLC ekran dotykowy w pełni automatyczne sterowanie, z użyciem komponentów elektrycznych marki Omron, Schneider i innych, są ręczne, automatyczne dwa tryby sterowania, prawdziwy kolorowy ekran dotykowy, sterownik programowalny Siemens (PLC), amerykański system czujnika ciśnienia próżniowego, można ustawić online, modyfikować, monitorować ciśnienie próżniowe, czas przetwarzania, moc plazmy i inne parametry procesu, a także ma alarm awarii, przechowywanie procesu i inne funkcje. Ustawienie różnych parametrów procesu w trybie automatycznym umożliwia uruchomienie jednym kliknięciem i ciągłe powtarzanie. Tryb ręczny jest stosowany w procesie eksperymentalnym oraz w konserwacji sprzętu.

Proces:

1,Proces przetwarzania Załaduj przedmiot→ Pompowanie próżni → Wpływanie gazu reakcyjnego → Obróbka rozładunku plazmowego → Odpływanie gazu → Wyjmowanie części roboczej

2,Kontrola procesu:

Kontrola czasu przetwarzania: 1 sekunda do 120 minut.

Ciśnienie rozładunkowe plazmy: 30-50Pa.

2.3 Zakres ustawień mocy: 0-300W ciągle regulowany.

Zakres ustawienia przepływu: gaz 1 (0-300 ml/min) gaz 2 (0-500 ml/min).

Funkcje oprogramowania PLC (interfejs sterowania)

Ekran główny: monitorowanie w czasie rzeczywistym i wyświetlanie stanu pracy i danych, moc zasilania plazmowego, przepływ gazu, przełącznik zaworu, ciśnienie próżni, Czas pracy itp.

Ustawienia parametrów: można ustawić i modyfikować parametry procesu i kroki.

Stan pracy: można sprawdzić online dane i stan ciśnienia próżni, mocy plazmy, itp.

Alarmy awaryjne: różnorodne wykrywanie awarii, alarmy i zablokowanie wzajemne - Nie. Nie.

Aplikacje do wiążenia chipów PDMS

Efekt wiążenia PDMS z nośnikiem slajdów

Po wiążeniu przeprowadzono eksperyment z odłączeniem,PDMS nie może być oddzielony od nośnika również po rozdarzeniu, a wytrzymałość widocznej warstwy wiążącej jest znacznie wyższa niż sama PDMS. Proces systemu jest prosty, wysoka wydajność, szybka prędkość wiązania, wysoka wytrzymałość, nie występuje wyciek płynu.