Cel konserwacji urządzeń ICP:
1) terminowe wykrycie awarii urządzenia;
2) wykrywanie ukrytych zagrożeń przyrządu, terminowe wykrycie i proponowanie środków zapobiegawczych;
3) poprzez konserwację przyrządu, poprawę wrażliwości przyrządu i przedłużenie żywotności przyrządu;
4) zwiększenie stabilności przyrządu, zapewnienie dokładności danych testowych;
Zawartość konserwacji urządzeń ICP:
1) Oczyść wszystkie płyty obwodowe, wentylatory i pył na powierzchni przyrządu
2) Czyszczenie rozpylacza, komory rozpylania, stożków oświetleniowych i palników
3) wymiana wody chłodzącej, czyszczenie rurociągów
4) Połączenie rury próżniowej, kontrola uszczelnienia przełącznika zaworu magnetycznego, dostosowanie położenia szczeliny wiązki
5) Kontrola wydajności pompy próżniowej, wymiana oleju pompowego, pierścień uszczelniających, siat molekularny
6) Sprawdź, czy nie ma wycieku między butelką gazową a ICP, ustalenie kwalifikacji obwodu
7) Sprawdź gaz przyrządu, czujnik gazu pomocnego, czyszczenie
8) Utrzymanie pyłu generatora wysokiej częstotliwości RF, konserwacja komory próżniowej
9) Odpowiedz na problemy z obsługą użytkownika