Algorytmy sterowania zapewniają stabilną kontrolę przepływu poprzez kontrolę stosunku przepływu, a jednocześnie wykorzystują technologię optymalizacji sterowania HORIBA STEC do sterowania ciśnieniem w górę FS-3000. Ponadto, nawet jeśli stosunek rozbiegu się zmienia, algorytm kontroli może osiągnąć szybką reakcję na rozbieg.

• Poprawa skalowalności i wydajności konserwacji. FS-3000 może oddzielać do 15 kanałów za pomocą szybkiego przetwarzania sygnału. W przypadku awarii MFC wystarczy wymienić uszkodzony sprzęt.

• Specyfikacje wymagane dla elastycznej reakcji FS-3000 obsługuje wiele gazów, w tym mieszaniny gazów. Ponadto FS-3000 obsługuje interfejsy użytkownika, takie jak RS-485 i DeviceNet.