Cienki czujnik ciśnienia typu CYG513 został zaprojektowany specjalnie do dystrybucji pola ciśnienia powierzchniowego w modelu eksperymentalnym w tunelu wiatrowym podczas badań aerodynamicznych. Jest szczególnie odpowiedni do zastosowań, w których model jest bardzo cienki i nie może być zainstalowany z otworem w mikroczujnikach sondowych. Montowanie bardzo cienkich czujników bezpośrednio lub zakopanie płytkich dziur na płaskiej powierzchni modelu. Jego bardzo cienki specjalny elastyczny przewód może być przymocowany bezpośrednio na powierzchni modelu. Dlatego w zasadzie nie wpływa na pole przepływu.
Komponenty wrażliwe na ciśnienie CYG513 są zaprojektowane i produkowane z zastosowaniem zaawansowanej technologii MEMS. Trójwymiarowy zintegrowany, dwustronny obróbka elementów czułych na ciśnienie krzemu z doskonałą dokładnością liniową, wtrysk jonowy, wysoki poziom spójności mostu naprężeniowego Whiston wykonane w drobnej technologii fotografii sprawia, że ma bardzo małe przesunięcie temperatury, obróbkę mikromechaniczną, precyzyjną korozję heterogenną i technologię wiążenia anody krzemu-szkła, dzięki czemu struktura czuła na siły krzemu ma wysoką wrażliwość, doskonałą stabilność i doskonałe właściwości dynamiczne, a jednocześnie cieńszą grubość. Całkowita grubość zintegrowanej konstrukcji wrażliwej na siłę i wzmocnienia podłoża wynosi zaledwie 0,9 mm, co umożliwia uzyskanie cieńszych czujników kształtowych o cieńszych rozmiarach końcowych.
CYG513 jest trybem pomiaru ciśnienia powierzchniowego, standardowy zakres ciśnienia to 2, 5, 10, 25, 40, 60, 100, 160, 250, 400, 600, 1000kpa
CYG513 ma kształt okrągły. Minimalna średnica wynosi 10 mm, grubość 4 mm, ciśnienie odniesienia może być prowadzone zarówno w tylnym otworze (513G), jak i w części bocznej przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów przewodów
CYG513 ma doskonałą kompatybilność z nośnikiem dzięki ucisku odwrotnemu wrażliwego elementu i może być również stosowany do celów dynamicznych przepływu wody. Posiada dość szerokie strefy temperatury roboczej i bardzo doskonałe dynamiczne właściwości częstotliwości i może być używany w pasmach częstotliwości od niskich do zerowych i wysokich do dziesiątek tysięcy Hz.
1, parametry wskaźników wydajności
| Wskaźnik/klasa | Dokładność nieliniowa ±%FS |
Opóźniona powtarzalność %FS |
Współczynnik temperatury zerowej ×10-4FS /℃ |
Współczynnik temperatury wrażliwości ×10-4FS /℃ |
Płynąć w zeru <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
Wyjście pełnego zasięgu: minimalna wartość 30mv typowa wartość 80mv maksymalna wartość 130mv
Impedancja wejściowa i wyjściowa: minimalna wartość 3 kΩ typowa wartość 5 kΩ maksymalna wartość 7 kΩ
Prąd roboczy wejściowy: 1mA (źródło stałego prądu)
Zakres temperatury pracy: -55 ℃ ~ 120 ℃
Zakres temperatury kompensacyjnej: -10 ℃ ~ 80 ℃
Zdolność przeciążenia: 200% zasięgu nominalnego
Czułość na przyspieszenie: < 0,001% FS / g
9, Wymiary:

