Cienki czujnik ciśnienia typu CYG511 został zaprojektowany specjalnie do dystrybucji pola ciśnienia powierzchniowego w modelu eksperymentalnym w tunelu wiatrowym podczas badań aerodynamicznych. Jest szczególnie odpowiedni do zastosowań, w których model jest bardzo cienki i nie może być zainstalowany z otworem w mikroczujnikach sondowych. Montowanie bardzo cienkich czujników bezpośrednio lub zakopanie płytkich dziur na płaskiej powierzchni modelu. Jego bardzo cienki specjalny elastyczny przewód może być przymocowany bezpośrednio na powierzchni modelu. Dlatego w zasadzie nie wpływa na pole przepływu.

Komponenty wrażliwe na ciśnienie CYG511 są zaprojektowane i produkowane z zastosowaniem zaawansowanej technologii MEMS. Trójwymiarowy zintegrowany, dwustronny obróbka elementów czułych na ciśnienie krzemu z doskonałą dokładnością liniową, wtrysk jonowy, wysoki poziom spójności mostu naprężeniowego Whiston wykonane w drobnej technologii litografii sprawia, że ​​ma bardzo małe przesunięcie temperatury, obróbkę mikromechaniczną, precyzyjną korozję heterogenną i technologię bezpośredniego wiążenia krzemu-krzemu, dzięki czemu struktura czuła na siły płynnej folii krzemowej ma wysoką wrażliwość, doskonałą stabilność i doskonałe właściwości dynamiczne, a jednocześnie ma bardzo cienką grubość. Jego zintegrowana struktura wrażliwa na siłę z konstrukcją wzmocnioną podłożyem ma całkowitą grubość zaledwie 0,6 mm, co sprzyja uzyskaniu cieńszych czujników kształtowych o cieńszych rozmiarach końcowych.

CYG511 jest trybem pomiaru ciśnienia absolutnego, standardowy zakres ciśnienia to 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa.

CYG511 ma kształt okrągły. Średnica nominalna wynosi ф8 mm, grubość 2,2 mm, przewód wyjściowy jest 5-przewodowym przewodem elastycznym o długości 1 m, w końcu 1 m jest równoważnik kompensacyjny mostu wykonany z płyty PCB, grubość przewodu elastycznego wynosi 0,15 mm i szerokość 4 mm.

CYG511 ze względu na ciśnienie frontalne wrażliwych elementów nadaje się do zupełnie niekorozyjnych i nieprzewodnych suchych gazów. Posiada dość szerokie strefy temperatury roboczej i bardzo doskonałe dynamiczne właściwości częstotliwości i może być używany w pasmach częstotliwości od niskich do zerowych i wysokich do tysięcy Hz. Jeśli środek jest skomplikowany i zawiera wysoką zawartość wilgoty, można użyć CYG511S, który pokrywa powierzchnię i elektrodę z żelem silikonowym (żel silikonowy zmniejsza jego dynamiczną częstotliwość). Produkt CYG511P z powłoką materiału organicznego z grubością folii ochronnej o wielkości um ma mniejsze straty dynamicznej częstotliwości, dłuższy cykl specjalnego opracowania i większy wzrost kosztów.

1, parametry wskaźników wydajności:

Wyjście pełnego zasięgu: minimalna wartość 30mv typowa wartość 80mv maksymalna wartość 130mv

Impedancja wejściowa i wyjściowa: minimalna wartość 3 kΩ typowa wartość 5 kΩ maksymalna wartość 7 kΩ

Prąd roboczy wejściowy: 1mA (źródło stałego prądu)

Zakres temperatury pracy: -55 ℃ ~ + 120 ℃

Zakres temperatury kompensacyjnej: -10 ℃ ~ + 80 ℃

Zdolność przeciążenia: 200% zasięgu nominalnego

Czułość na przyspieszenie: < 0,001% FS / g

9, Wymiary: