Spektrometr masowy do kontroli procesu Atonarp Aston ™ Dane techniczne:

Uniwersalne narzędzie do kontroli procesu w czasie rzeczywistym, odporne na gazy korozyjne, odporne na kondensację
Platforma do analizy molekularnej in situ dla produkcji półprzewodników zapewniająca dane operacyjne w czasie rzeczywistym
Zastosowanie źródła jonizacji plazmowej, bez przewodów, bardziej trwałe
Całkowita integracja z narzędziami do produkcji masowej
Aston ™ Analizator spektrum masowego procesuJako potężna platforma może zastąpić wiele tradycyjnych narzędzi, zapewniając bezprecedensowy poziom kontroli, w tym litografię, trawienie i osadzanie elektryczne i przewodnicze, czyszczenie komory, dopasowanie komory i rozpuszczanie.

Aston ™ Analizator spektrum masowego procesuParametry techniczne

Atonarp Aston™ Zastosowanie: Ważny rozwój w zakresie kontroli i optymalizacji procesów półprzewodników, zwiększenie wydajności, przepustowości i wydajności procesów produkcyjnych półprzewodników
Aston ™ Jest to nowo zaprojektowany, wytrzymały, kompaktowy spektrometr masowy online do monitorowania i kontroli gazów w produkcji półprzewodników i zastosowaniach kontroli procesów przemysłowych, w połączeniu z wysoką dokładnością ilościową i w czasie rzeczywistym oraz solidnością i niezawodnością produkcji, taką jak analiza wykrywania spalin z pomp suchych półprzewodników, umożliwiające monitorowanie online i diagnostykę.
CVD / ALD: Przejście tlenek-azot i analiza składu
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: identyfikacja molekuł śledzących


Jeśli potrzebujesz więcej informacjiAtonarp Aston ™ Spektrometr masy onlineAby uzyskać więcej informacji lub dyskusji, proszę zapoznać się z poniższymi danymi kontaktowymi:
Szanghaj: Pani Ye Tajwan: Pani Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat samy numer ) M: +886-939-653-958

Obecnie niektóre marki zatrudniają agentów współpracy, zainteresowani mogą skontaktować się z panną Betong Ye w Szanghaju 1391-883-7267
Wszystkie prawa autorskie zastrzeżone w Szanghaju!