Charakterystyki 8-calowego systemu kontroli płytek Olympus

● Szeroki zakres adaptacji, elastyczne dopasowanie, 8-calowy system kontroli płytek Olympus ma wysoką praktyczność i niezawodność.

● 8-calowy system kontroli płytek Olympus przenosi różne rozmiary płytek krzemowych

W oparciu o rozmiar płytek krzemowych, systemy kontroli płytek z serii AL120 są dostępne w trzech modelach podstawowych: pojedynczy rozmiar 200 mm (AL120-L8), 150 mm i 200 mm kompatybilny (AL120-L86), pojedynczy rozmiar 150 mm lub mniej (AL120-L6). Każdy z nich został zaprojektowany do przesyłania płytek krzemowych, które zostały poddane badaniu mikroskopowemu. Przednie makro i tylne makro kontrole mogą być stosowane z różnych rozmiarów płytek krzemowych.

● 8-calowy system kontroli płytek Olympus może przesyłać bardzo cienkie płyty krzemowe, tj. cienkie do 90um

Aby poradzić sobie z bardziej trudnymi ultracienkimi płytkami krzemowymi, system kontroli płytek Olympus został specjalnie zaprojektowany do przenoszenia ramienia, które może poradzić sobie z pudełkami 200 mm w 25 sztuk oraz płytkami krzemowymi cienkimi do 90 um, a także zapewnić bezpieczne przenoszenie i kontrolę mikroskopową. Można wstępnie ustawić informacje o płytkach krzemowych o 10 różnych grubościach za pośrednictwem paneli.

● Precyzyjna zdolność do zwiększenia funkcji kontroli makro

Nowa maszyna z funkcją makrospekcji (typ LMB) automatycznie obraca się o 360 stopni, aby dokonać makrospekcji każdej strony krzemu. Ta konstrukcja umożliwia łatwe wykrywanie wad i cząstek na pozytywnej i odwrotnej stronie płyty krzemowej. Ponadto płytka krzemowa może być nachylona o 30 stopni za pomocą drążki.

Wyświetlacz LCD zapewnia dokładność i łatwość obsługi

Wyświetlacz LCD zapewnia operatorowi bardziej intuicyjne wrażenie wizualne, dzięki czemu elementy i kolejność kontroli systemu kontroli płytek Olympus są jasne, a także parametry ustawione do instalacji i debugging są na jeden rzut oka. Wyniki kontroli, w tym makro i mikro znaki wady wprowadzone przez operatora, mogą być wyświetlane na wyświetlaczu LCD, aby ułatwić przegląd operatora.

• Precyzyjna niezawodność

Aby zapewnić bezpieczeństwo płytek krzemowych, systemy kontroli płytek z serii AL120 wykorzystują dwie nowe metody wykrywania płytek krzemowych: grubość płytek krzemowych i ich położenie w pudełku. Przed przesyłaniem przeskanuj położenie krzemu w pudełku. Opcjonalna funkcja automatycznego blokowania nośnika zwiększa bezpieczeństwo przesyłania płytek krzemowych do nośnika próżniowego.

Mocny i niezawodny mikroskop

Mikroskop kontrolny półprzewodnikowy Olympus MX61 zapewnia obrazy o wysokiej rozdzielczości i wysokiej rozdzielczości dzięki różnym sposobom obserwacji: jasnym, ciemnym, interfejracyjnym, podczerwonym i głębokim UV. Wyposażony w elektryczny obiektyw obrotowy, z aperturą mikroskopu ma funkcję łączenia, przy każdej zmianie obiektywu, apertura światła będzie również automatycznie przekształcona.

Zgodność z normami SEMI S2/S8 i RoHS

Systemy kontroli płytek z serii AL120 zostały zaprojektowane nie tylko z uwzględnieniem bezpieczeństwa płytek krzemowych podczas przesyłki, ale także zapewniając bezpieczeństwo operatora, w pełni spełniając normy SEMI S2 i S8, a także spełniając normy Rohs.

Specyfikacja techniczna 8-calowego systemu kontroli płytek Olympus